Влияние различных факторов на электропроводность пленок WO3
Аннотация
В настоящей работе, которая является продолжением проводимых в нашей лаборатории исследований природы и закономерностей процессов в индивидуальных и гетеросистемах на основе оксида вольфрама (VI) до, в процессе и после индивидуального и комплексного воздействия различных энергетических факторов, представлены результаты систематических исследований кинетических закономерностей протекания тока в системах Cu – WO3 – Cu в зависимости от величины (в диапазоне ± 10 В) и полярности внешнего поля, толщины слоев WO3 (в интервале 20–100 нм) времени выдержки с момента приготовления образцов до начала измерения (от 2 до 180 часов), материала подложки (фторопласт 4, стекло ГОСТ 9284-59). Объектами исследования плслужили пленки оксида вольфрама (VI). В качестве электродов была выбрана медь. В результате воздействия внешнего напряжения в диапазоне ± 10 В запасания энергии в системах Cu – WO3 – Cu не наблюдается. Значения стационарного тока в системах Cu – WO3 – Cu зависят от толщины пленки WO3. Обнаружено аномальное увеличение стационарного тока при толщине пленок WO3 ≈ 35 нм. Установлено влияние материала подложки на кинетические закономерности тока релаксации в системах Cu – WO3 – Cu. В результате постпроцессов релаксация систем Cu – WO3 – Cu на стеклянных носителях завершается через ~ 48 часов, а на фторопластовых носителях через ~ 180 часов.
Ключевые слова
Об авторах
С. В. БинРоссия
Н. В. Борисова
Россия
Э. П. Суровой
Россия
И. В. Титов
Россия
Список литературы
1. Лусис А. Р. Электрохромный эффект и электрохромные материалы: физика и применение // Оксидные электрохромные материалы. Межвуз. сб. научн. трудов. Рига: Изд-во ЛГУ им. П. Стучки, 1981. С. 13–37.
2. Гуревич Ю. Я. Твердые электролиты. М.: Наука, 1986. 176 с.
3. Суровой Э. П., Хамитов М. М., Шустов М. А., Баранников А. В. Направленное регулирование фоточувствительности окиси вольфрама // Бессеребряные и необычные фотопроцессы: тезисы докл. III Всесоюз. конф. Вильнюс, 1980. С. 199–200.
4. Лусис А. Р., Клеперис Я. Я. Электрохромные зеркала – твердотельные ионные устройства // Электрохимия. 1992. Т. 28. № 10. С. 1450–1455.
5. Maosong T., Guorui D. WО3 thin film prepared by PECVD technique and its gas sensing properties to NO2 // Journal of Materials Science. 2001. V. 36. P. 2535–2538.
6. Giulio M. Dl., Manno D. Sputter deposition of tungsten triox-ide for gas sensing applications // Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 1998. V. 9. P. 317–322.
7. Метфессель С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение. М.-Л.: Госэнергоиздат, 1963. 272 с.
8. Томашов, Н. Д. Теория коррозии и защиты металлов. М.: Изд-во АН СССР, 1960. 592 с.
9. Суровой Э. П., Титов И. В., Бугерко Л. Н. Контактная разность потенциалов для азидов свинца, серебра и таллия // Известия Томского политехнического университета. 2005. Т. 308. № 2. С. 79–83.
10. Фоменко В. С. Эмиссионные свойства материалов. Киев: Наукова думка, 1981. 340 с.
11. Минайчев В. Е. Нанесение пленок в вакууме // Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. М.: Высшая школа, 1989. 110 с.
12. Бин С. В. Борисова И. В., Титов И. В. Измерение электропроводности пленок WО3 в зависимости от их толщины // Химия – XXI век: новые технологии, новые продукты: труды VIII Междунар. научно-практ. конф. Кемерово, 2005. С. 421–424.
13. Борисова Н. В., Титов И. В., Суровой Э. П. Влияние светового излучения на системы «WО3 – Си» // Химия – XXI век: новые технологии, новые продукты: труды VIII Междунар. научно-практ. конф. Кемерово, 2005. С. 179–181.
14. Борисова Н. В., Суровой Э. П., Титов И. В. Закономерности изменения свойств пленок меди в процессе термообработки // Известия Томского политехнического университета. 2006. Т. 309. № 2. С. 67–72.
Рецензия
Для цитирования:
Бин С.В., Борисова Н.В., Суровой Э.П., Титов И.В. Влияние различных факторов на электропроводность пленок WO3. СибСкрипт. 2006;(1):154–159.